電子行業:制取電子工業生產,如單晶硅半導體、集成電路塊、顯像管、液晶顯示器等制造工藝用純水、高純水。
電子超純水設備是電子行業專用的超純水制備裝置,作為行業用水的專業制造者,使用者一定要正確掌握影響電子超純水設備正常運行的因素及解決的方法。
工藝:
電子行業制備超純水的工藝大致分成以下幾種:
1、采用離子交換樹脂制備超純水的其基本工藝流程為:原水→原水箱→原水泵→多介質過濾器→保安過濾器→陽床→陰床(復床)→混床→純水箱→純水泵→后置精密過濾器→用水點
2、采用反滲透水處理設備與離子交換設備其基本工藝流程為:原水→原水箱→原水泵→多介質過濾器→保安過濾器→高壓泵→反滲透設備→RO水箱→混床泵→混床→純水箱→純水泵→后置精密過濾器→用水點
3、采用反滲透水處理設備與電去離子(EDI)設備,這是一種制取超純水的新工藝,也是一種環保,經濟,發展潛力巨大的超純水制備工藝,其基本工藝流程為:原水→原水箱→原水泵→多介質過濾器→精密過濾器→高壓泵→反滲透設備→RO水箱→(EDI)泵→保安過濾器→紫外線→電去離子(EDI)→純水箱→純水泵→后置精密過濾器→用水點